池田屋原裝INFICON英富麗UL6000 Fab PLUS氦氣泄漏檢測器產品介紹技術參數

一、產品定位與核心優勢

INFICON UL6000 Fab PLUS氦氣泄漏檢測器是專為半導體、光伏、平板顯示等制造領域打造的旗艦級檢漏設備，在UL6000 Fab系列基礎上升級而來，憑借靈敏度、超快檢測速度與智能集成功能，成為大容積真空設備泄漏檢測的理想選擇^。該設備搭載INFICONI·RISE智能上升率技術，可將傳統壓力上升測試與氦氣噴射法合二為一，將大容積設備檢漏時間壓縮至傳統方法的1/5以內，同時保持對微小泄漏的精準捕捉能力。

二、核心技術與性能參數

1. 超高靈敏度檢測系統采用ULTRATEST™高靈敏度質譜技術，可精準檢測原子量2、3、4的氣體，真空模式下最小可檢測泄漏率<5×10?12 mbar·l/s，吸槍模式下最小可檢測泄漏率<5×10?? mbar·l/s，輕松捕捉半導體制造中影響產品良率的微米級泄漏^。搭配多入口渦輪分子泵，在ULTRA真空模式下DN63法蘭接口氦氣抽速可達36L/s，確保泄漏信號快速響應，50升容積設備響應時間僅約1.4秒。

   智能軟件算法矩陣內置I·CAL智能泄漏率計算算法，可自動適配不同測試環境，在全量程范圍內實現快速響應；HYDRO·S氫氣抑制技術能有效降低環境中氫氣干擾，縮短測試準備時間。I·RISE功能可在10秒內完成壓力上升率測量，結合氦氣噴射法同步定位泄漏點，大幅減少設備停機維護時間。

2. 關鍵技術參數

• 機械規格：尺寸1050mm×472mm×1040mm，重量約144kg，配備DN63 ISO-K進氣法蘭，支持DN40適配器兼容小口徑設備

• 電氣性能：100-240V寬電壓輸入，功耗1500VA，真空抽氣時典型功耗1000VA，測量運行時低至800VA

• 效率指標：50升容積抽至1mbar僅需52秒，校準時間<30秒，系統啟動時間<2分鐘，支持USB、以太網、HDMI等多接口數據傳輸

三、典型應用場景

1. 半導體制造領域針對晶圓制造設備、真空鍍膜腔體、光刻系統等大容積真空部件，可快速檢測出<1×10?? mbar·l/s的微小泄漏，避免因真空度不足導致的晶圓污染與工藝缺陷，提升產品良率^。在設備維護階段，I·RISE技術可快速完成整體泄漏評估與精準定位，將單臺設備維護時間從數小時縮短至幾十分鐘。

2. 光伏與平板顯示行業適用于PECVD鍍膜設備、玻璃基板傳輸系統等大型真空裝置的泄漏檢測，確保鍍膜工藝穩定性，減少因泄漏導致的薄膜不均勻問題。對于卷對卷鍍膜設備，可在生產線不停機狀態下進行在線檢漏，保障連續生產效率。

3. 航空航天與科研領域滿足衛星真空模擬艙、火箭發動機部件等高精度真空系統的泄漏檢測需求，在環境下仍能保持穩定檢測性能，為航天產品可靠性提供保障。