池田屋原裝INFICON英富麗 UL6000 Fab氦氣泄漏檢測器產品介紹技術參數

一、產品定位：旗艦級移動式檢漏

INFICON UL6000 Fab氦氣泄漏檢測器是UL移動式氦氣檢漏儀產品組合中的旗艦型號，專為滿足半導體、太陽能電池制造、平板顯示器等行業中大型工藝設備的嚴苛檢漏需求而生。它以行業的檢測速度、超高靈敏度和穩定可靠的性能，成為制造領域保障設備真空密封性、提升產品良率的核心裝備。

二、核心技術與性能優勢

1. 極速檢測架構設備搭載創新的 booster 渦輪分子泵，氦氣抽速可達36升/秒，配合抽氣能力為36立方米/小時的羅茨粗抽泵，能在極短時間內完成大容積腔體的抽真空作業，相比同類設備，針對50至1000升的大型工裝，每次測試可節省數分鐘時間。同時，其獨特的真空架構可在寬壓力范圍內維持高抽速，確保檢測響應速度與信號強度。

2. 智能算法賦能內置INFICONI·CAL智能泄漏率計算算法與HYDRO·S氫氣抑制算法，前者確保在10^-9至10^-12 mbar·l/s的全測量范圍內實現快速響應，后者可快速抑制環境中氫氣干擾，大幅縮短測試準備時間。UL6000 Fab PLUS型號更配備I·RISE智能上升率功能，將壓力上升測量與氦氣噴射法結合，使測量時間大幅縮短，最多可節省50%的檢漏時長。

3. 超高靈敏度與可靠性采用ULTRATEST™傳感器技術與經多年驗證的扇形磁場質譜儀，能穩定檢測低至5×10^-12 mbar·l/s的極小漏率，且具備免維護設計，長期使用仍能保持數據的準確性與重復性。設備還擁有自我保護機制，可抵御氦氣與粒子污染，自動沖凈周期確保隨時可用。

三、技術參數

• 檢測靈敏度：真空模式下<5×10^-12 mbar·l/s，吸槍模式下<5×10^-8 mbar·l/s

• 抽氣系統：booster渦輪分子泵（氦氣抽速36L/s）+羅茨粗抽泵（抽氣能力36m3/h）

• 接口配置：標配DN63 ISO-K進氣法蘭，可選DN40適配器

• 啟動與校準時間：開機時間<2分鐘，校準時間<30秒

• 物理規格：尺寸1050×427×1040mm，重量143kg

四、典型應用場景

1. 半導體制造：針對晶圓加工設備腔體、真空法蘭、冷卻管路等關鍵部位，檢測極限泄漏率低于1×10^-9 mbar·l/s的微小泄漏，保障光刻、沉積等工藝的真空環境穩定性，避免因泄漏導致的產品良率下降。

2. 光伏與平板顯示：在PECVD、ALD等鍍膜設備中，精準檢測密封接頭與電極連接處的泄漏，防止雜質污染影響電池效率與顯示面板質量。

3. 大型真空系統維護：適用于科研實驗室粒子加速器、航天模擬艙等對真空度要求嚴苛的設備，提升維護響應速度與系統可靠性，減少停機維護時間。