池田屋原裝INFICON英富麗UL1000 Fab 氦氣檢漏儀（干式）產品介紹技術參數

一、產品定位與核心優勢

INFICON UL1000 Fab干式氦氣檢漏儀是專為半導體制造及工業檢漏場景打造的高性能檢測設備，憑借干式泵技術、ULTRATEST™傳感器技術與I-CAL算法，成為真空泄漏檢測領域的“干式標準"。它平衡了超高靈敏度、快速響應與低污染特性，既能滿足半導體fab對清潔度的嚴苛要求，也能適配工業環境下高負荷、多場景的檢漏需求，為用戶提供兼具精準性與經濟性的檢漏解決方案。

二、核心功能與技術特點

1. 超靈敏與快速響應通過優化的真空架構，UL1000 Fab實現了低至<5×10?12 mbar·l/s的真空模式檢漏靈敏度，搭配I-CAL智能泄漏率計算算法，在低泄漏率范圍也能實現秒級響應——從1×10?12 mbar·l/s的背景值檢測到1×10?1? mbar·l/s的微小泄漏僅需不到1秒，解決傳統檢漏儀在低量程下響應緩慢的痛點。同時，其15個數量級的寬測量范圍，可覆蓋從超微泄漏到較大泄漏的全量程檢測，無需更換設備即可完成多場景測試。

2. 干式清潔與污染防護采用干式渦旋泵與多入口渦輪分子泵組合，消除了油霧污染風險，避免被測部件或設備被碳氫化合物、顆粒污染，特別適配半導體制造中對清潔度要求的場景^。設備還具備自保護功能，可防止氦氣與微粒污染內部組件，自動吹掃循環能快速清理腔體，確保每次測試前設備處于狀態。

3. 高機動性與易用設計全金屬外殼搭配集成滾輪，整機重量110kg，尺寸為1068×525×850mm，可輕松穿梭于fab車間或工業場地的狹窄空間^。可旋轉的彩色顯示屏支持數字、柱狀圖、趨勢圖等多種顯示模式，關鍵功能一鍵觸達，菜單式操作界面簡單直觀，還可通過無線遙控器實現遠程操控，進一步提升操作便利性。

三、技術參數

四、典型應用場景

1. 半導體制造適配IC封裝、石英晶體、激光二極管等密封部件的檢漏測試，符合MIL-STD 883/843 Method 1014標準，可快速定位微米級泄漏點，保障晶圓加工設備腔體、真空法蘭等關鍵部位的真空穩定性，提升產品良率。

2. 工業設備維護用于航空航天模擬艙、粒子加速器等科研真空系統，以及光伏PECVD鍍膜設備、鋰電池生產設備的泄漏檢測，在高負荷、高要求的場景下實現精準、高效的檢漏作業。

3. 電子元器件檢測針對密封繼電器、接插件等電子產品，可完成批量、高循環率的密封性能測試，確保產品在嚴苛環境下的可靠性。