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全新 ROOKS 堅固的設備外殼流量控制設備 SLAMf50
一臺設備支持多種氣體，最大限度地提高工藝靈活性和生產率。 系列彈性密封質量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術，非常適合使用多種氣體、經常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用，是系統、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能，將您的過程靈活性提升到一個新的水平。
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。
簡單易懂的 MultiFlo™ 編程：60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換
減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存
通過基于全球標準的高性能測量系統和校準實現的過程氣體精度
耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩定性，確保最大產量和吞吐量
用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷
彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能
支持多種協議通信接口集成到現有系統中
利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間，該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍，而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)
| SLAMf50 | SLAMf51 | SLAMf53 | SLAMf60 | SLAMf61 | SLAMf63 | SLAMf64 | |
| 產品類別 | 質量流量控制器 | 質量流量控制器 | 質量流量控制器 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
| 差異化因素 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 | 設備類型 流量范圍 |
| 流量范圍（滿量程容量） | 0.003 - 50 英里/分鐘 | 15 - 200 英里/分鐘 | 100 - 2500 英里/分鐘 | 0.003 - 50 英里/分鐘 | 15 - 200 英里/分鐘 | 100 - 2500 英里/分鐘 | 300 - 36,000 英里/分鐘 |
| 最大壓力 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1500 磅/平方英寸 / 100 巴 | 1000 磅/平方英寸 / 70 巴 | 取決于流量 |
| 準確性 | ±0.6% 的 SP | ±0.6% 的 SP | 100 - 1100 升/分鐘 ±0.6% 的 SP 1100 - 2500 升/分鐘 滿量程的±0.6% | ±0.6% 的 SP | ±0.6% 的 SP | 100 - 1100 升/分鐘 ±0.6% 的 SP 1100 - 2500 升/分鐘 滿量程的±0.6% | 滿量程的±1.0% |
| 再現性 | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | 0.20% SP | ±0.25% SP |
| 響應時間 | <1秒 | <1秒 | <3秒 | <1秒 | <1秒 | <3秒 | 不適用 |
| 多氣體多范圍 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 |
| 診斷能力 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 | 狀態燈 - MFC 運行狀況、網絡狀態 警報 - 傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/電壓驟降、網絡中斷 診斷/服務端口 - RS485，通過 2.5 毫米插孔 |
| 模擬通訊 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 | 0-5 伏直流電、1-5 伏直流電、0-10 伏直流電、0-20 毫安、4-20 毫安 |
| 數字通訊 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 | 設備網™ 以太網/IP™ FOUNDATION TM現場總線 現場總線® 工業以太網 RS-485 |
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